Çip üretim atölyeleri, entegre devre tozsuz atölyeleri ve disk üretim atölyeleri gibi elektronik temiz odalar, partikül kontrolünün yanı sıra sıcaklık ve nem kontrolü, aydınlatma ve mikro şok konusunda da daha sıkı gereksinimlere sahiptir. Statik elektriğin üretim ürünleri üzerindeki etkisini kesinlikle ortadan kaldırarak, ortamın elektronik ürünlerin üretim süreci gereksinimlerini temiz bir ortamda karşılamasını sağlar.
Elektronik temiz odanın sıcaklığı ve nemi, üretim süreci gereksinimlerine göre belirlenmelidir. Üretim süreci için özel bir gereksinim yoksa, sıcaklık 20-26°C ve bağıl nem %30-%70 olabilir. Personel temiz odası ve yaşam alanının sıcaklığı 16-28℃ olabilir. Uluslararası ISO standartlarına uygun olan Çin ulusal standardı GB-50073'e göre, bu tip temiz odanın temizlik seviyesi 1-9 arasındadır. Bunlardan 1-5. sınıflarda hava akışı tek yönlü veya karışık akıştır; 6. sınıfta hava akışı tek yönlü olmayan akıştır ve hava değişimi saatte 50-60 kezdir; 7. sınıfta hava akışı tek yönlü olmayan akıştır ve hava değişimi saatte 15-25 kezdir; 8-9. sınıflarda ise hava akışı tek yönlü olmayan akıştır ve hava değişimi saatte 10-15 kezdir.
Mevcut şartnamelere göre, 10.000 sınıfı elektronik temiz odadaki gürültü seviyesi 65 dB(A)'dan fazla olmamalıdır.
1. Elektronik temiz odada dikey akışlı temiz odanın tam oranı %60'tan az olmamalı ve yatay tek yönlü akışlı temiz odanın oranı %40'tan az olmamalıdır; aksi takdirde kısmi tek yönlü akış olacaktır.
2. Elektronik temiz oda ile dış ortam arasındaki statik basınç farkı 10 Pa'dan az olmamalı ve farklı hava temizliğine sahip temiz alanlar ile temiz olmayan alanlar arasındaki statik basınç farkı 5 Pa'dan az olmamalıdır.
3. 10000 sınıfı elektronik temiz odadaki temiz hava miktarı aşağıdaki iki maddenin değerini almalıdır.
4. İç mekândaki pozitif basınç değerini korumak için gereken iç mekân egzoz havası hacmi ile taze hava hacminin toplamını dengeleyin.
5. Temiz odaya kişi başı saatte verilen temiz hava miktarının 40 metrekareden az olmamasına dikkat edin.
Yayın tarihi: 08-08-2024