Yangın koruma tesisleri, temiz odanın önemli bir parçasıdır. Önemi, yalnızca proses ekipmanlarının ve inşaat projelerinin pahalı olmasından değil, aynı zamanda temiz odaların nispeten kapalı binalar ve hatta bazılarının penceresiz atölyeler olmasından da kaynaklanır. Temiz oda geçişleri dar ve kıvrımlıdır, bu da personelin tahliyesini ve yangın eğitiminin verilmesini zorlaştırır. İnsanların can ve mal güvenliğini sağlamak için, tasarımda "önce önleme, önleme ve yangını birleştirme" yangın koruma politikası uygulanmalıdır. Temiz oda tasarımında etkili yangın önleme önlemlerinin yanı sıra, gerekli yangın söndürme tesisleri de kurulur. Temiz odaların üretim özellikleri şunlardır:
(1) Çok sayıda hassas ekipman ve alet bulunmakta ve çeşitli yanıcı, patlayıcı, aşındırıcı ve zehirli gaz ve sıvılar kullanılmaktadır. Bazı üretim parçalarının yangın tehlikesi C Kategorisine (oksidasyon difüzyonu, fotolitografi, iyon aşılama, baskı ve paketleme vb.), bazıları ise A Kategorisine (tek kristal çekme, epitaksi, kimyasal buhar biriktirme vb.) girmektedir.
(2) Temiz oda son derece hava geçirmezdir. Yangın çıktığında, personeli tahliye etmek ve yangını söndürmek zor olacaktır.
(3) Temiz odanın inşaat maliyeti yüksektir ve ekipman ve aletler pahalıdır. Yangın çıktığında ekonomik kayıplar çok büyük olacaktır.
Yukarıdaki özellikler göz önüne alındığında, temiz odalar yangın koruması açısından çok yüksek gereksinimlere sahiptir. Yangın koruma ve su temin sistemine ek olarak, sabit yangın söndürme cihazları da kurulmalı, özellikle temiz odadaki değerli ekipman ve cihazlar dikkatlice belirlenmelidir.
Gönderim zamanı: 11 Nis 2024