Yangın koruma tesisleri, temiz odaların önemli bir parçasıdır. Önemi sadece proses ekipmanları ve inşaat projelerinin pahalı olmasından değil, aynı zamanda temiz odaların nispeten kapalı binalar olmasından ve hatta bazılarının penceresiz atölyeler olmasından kaynaklanmaktadır. Temiz oda geçitleri dar ve dolambaçlıdır, bu da personelin tahliyesini ve yangınla mücadeleyi zorlaştırır. İnsanların can ve mal güvenliğini sağlamak için, tasarımda "önce önleme, önleme ve yangını birleştirme" yangın koruma politikası uygulanmalıdır. Temiz oda tasarımında etkili yangın önleme önlemleri alınmasının yanı sıra, gerekli yangın söndürme tesisleri de kurulmalıdır. Temiz odaların üretim özellikleri şunlardır:
(1) Birçok hassas ekipman ve alet bulunmakta ve çeşitli yanıcı, patlayıcı, aşındırıcı ve zehirli gazlar ve sıvılar kullanılmaktadır. Bazı üretim parçalarının yangın tehlikesi C Kategorisine (oksidasyon difüzyonu, fotolitografi, iyon implantasyonu, baskı ve paketleme vb.) ve bazılarının ise A Kategorisine (tek kristal çekme, epitaksi, kimyasal buhar biriktirme vb.) aittir.
(2) Temiz oda son derece hava geçirmezdir. Bir yangın çıktığında, personelin tahliyesi ve yangının söndürülmesi zor olacaktır.
(3) Temiz odanın inşaat maliyeti yüksektir ve ekipman ve aletler pahalıdır. Bir yangın çıktığında ekonomik kayıplar çok büyük olacaktır.
Yukarıdaki özellikler göz önüne alındığında, temiz odaların yangın güvenliği açısından çok yüksek gereksinimleri vardır. Yangın güvenliği ve su temin sistemine ek olarak, sabit yangın söndürme cihazları da kurulmalı, özellikle temiz odadaki değerli ekipman ve aletler için gerekli önlemler dikkatlice alınmalıdır.
Yayın tarihi: 11 Nisan 2024