Yangından korunma tesisleri temiz odanın önemli bir parçasıdır. Önemi yalnızca proses ekipmanı ve inşaat projelerinin pahalı olması değil, aynı zamanda temiz odaların nispeten kapalı binalar olması ve hatta bazılarının penceresiz atölyeler olmasıdır. Temiz oda geçitleri dar ve dolambaçlı olup, personelin tahliyesini ve yangına eğitim verilmesini zorlaştırmaktadır. İnsanların can ve mal güvenliğinin sağlanması için tasarımda “önce önleme, önleme ile yangını birleştirme” şeklindeki yangından korunma politikası uygulanmalıdır. Temiz odanın tasarımında etkin yangın önleme tedbirlerinin alınmasının yanı sıra, gerekli yangınla mücadele tesisleri de kurulmaktadır. Temiz odaların üretim özellikleri şunlardır:
(1) Pek çok hassas ekipman ve alet vardır ve çeşitli yanıcı, patlayıcı, aşındırıcı ve zehirli gazlar ve sıvılar kullanılır. Bazı üretim parçalarının yangın tehlikesi Kategori C'ye (oksidasyon difüzyonu, fotolitografi, iyon implantasyonu, baskı ve paketleme vb.), bazıları ise Kategori A'ya (tek kristal çekme, epitaksi, kimyasal buhar biriktirme vb.) aittir. .).
(2) Temiz oda oldukça hava geçirmezdir. Yangın çıktığında personeli tahliye etmek ve yangını söndürmek zor olacaktır.
(3) Temiz odanın inşaat maliyeti yüksektir ve ekipman ve aletler pahalıdır. Yangın çıktığında ekonomik kayıplar çok büyük olacaktır.
Yukarıdaki özelliklere dayanarak, temiz odaların yangından korunma açısından çok yüksek gereksinimleri vardır. Yangından korunma ve su temini sisteminin yanı sıra sabit yangın söndürme cihazları da kurulmalı, özellikle temiz odadaki değerli ekipman ve aletlerin dikkatle belirlenmesi gerekmektedir.
Gönderim zamanı: Nis-11-2024