1. Temiz oda içerisinde, ürün üretim süreci gereksinimlerine ve kimyasalın fiziksel ve kimyasal özelliklerine bağlı olarak farklı tipte kimyasal depolama ve dağıtım odaları kurulmalıdır. Üretim ekipmanına gerekli kimyasalları sağlamak için boru hatları kullanılmalıdır. Temiz oda içindeki kimyasal depolama ve dağıtım odaları genellikle yardımcı üretim alanında, genellikle tek katlı veya çok katlı bir binanın zemin katında, dış duvara yakın bir konumda bulunur. Kimyasallar, fiziksel ve kimyasal özelliklerine göre ayrı ayrı depolanmalıdır. Uyumsuz kimyasallar, sağlam bölmelerle ayrılmış ayrı kimyasal depolama ve dağıtım odalarına yerleştirilmelidir. Tehlikeli kimyasallar, bitişik odalar arasında en az 2,0 saatlik yangın dayanımı derecesine sahip ayrı depolama veya dağıtım odalarında saklanmalıdır. Bu odalar, üretim binasının birinci katında, dış duvara yakın bir odada bulunmalıdır.
2. Elektronik endüstrisindeki temiz odalarda genellikle asitler, alkaliler ve yanıcı çözücüler için depolama ve dağıtım odaları bulunur. Asit depolama ve dağıtım odaları tipik olarak sülfürik asit, fosforik asit, hidroflorik asit ve hidroklorik asit için depolama ve dağıtım sistemlerini barındırır. Alkali depolama ve dağıtım odaları tipik olarak sodyum hidroksit, hidroksit keki, amonyum hidroksit ve tetrametilamonyum hidroksit için depolama ve dağıtım sistemlerini barındırır. Yanıcı çözücü depolama ve dağıtım odaları tipik olarak izopropil alkol (IPA) gibi organik çözücüler için depolama ve dağıtım sistemlerini barındırır. Entegre devre gofret üretim tesislerindeki temiz odalarda ayrıca parlatma bulamacı depolama ve dağıtım odaları da bulunur. Kimyasal depolama ve dağıtım odaları genellikle temiz üretim alanlarının yakınında veya bitişiğinde, genellikle birinci katta ve dışarıya doğrudan erişimle yardımcı üretim veya destek alanlarında bulunur.
3. Kimyasal depolama ve dağıtım odaları, ürün üretimi için gerekli kimyasalların türüne, miktarına ve kullanım özelliklerine bağlı olarak değişen kapasitelerde depolama varilleri veya tanklarıyla donatılmıştır. Standartlara ve yönetmeliklere göre, kimyasallar ayrı ayrı depolanmalı ve sınıflandırılmalıdır. Kullanılan varil veya tankların kapasitesi, kimyasalların yedi günlük tüketimine yetecek kadar olmalıdır. Ürün üretimi için gerekli kimyasalların 24 saatlik tüketimini karşılayacak kapasitede günlük varil veya tanklar da sağlanmalıdır. Yanıcı çözücüler ve oksitleyici kimyasallar için depolama ve dağıtım odaları, bitişik odalardan 3,0 saatlik yangın dayanımına sahip sağlam yangına dayanıklı duvarlarla ayrılmalıdır. Çok katlı bir binanın birinci katında bulunuyorsa, diğer alanlardan en az 1,5 saatlik yangın dayanımına sahip yanmaz zeminlerle ayrılmalıdır. Temiz oda içindeki kimyasal güvenlik ve izleme sistemi için merkezi kontrol odası ayrı bir odada bulunmalıdır.
4. Temiz oda içindeki kimyasal depolama ve dağıtım odalarının yüksekliği, ekipman ve boru hattı yerleşim gereksinimlerine göre belirlenmeli ve genellikle 4,5 metreden az olmamalıdır. Temiz odanın yardımcı üretim alanında yer alıyorsa, kimyasal depolama ve dağıtım odasının yüksekliği bina yüksekliğiyle uyumlu olmalıdır.
Yayın tarihi: 01 Ağustos 2025