Temiz oda, havadaki asılı parçacıkların konsantrasyonunun kontrol edildiği bir odadır. Yapısı ve kullanımı, iç mekanlara parçacıkların girişini, oluşumunu ve tutulmasını azaltmalıdır. Odadaki sıcaklık, nem ve basınç gibi diğer ilgili parametreler de gerektiği gibi kontrol edilmelidir. Temiz oda, hava hacminin birim başına belirli bir parçacık boyutundaki parçacık sayısına göre sınıflandırılır. Havadaki asılı parçacık konsantrasyonuna göre sınıflandırılır. Genel olarak, değer ne kadar küçükse, arıtma seviyesi o kadar yüksektir. Yani, sınıf 10 > sınıf 100 > sınıf 10000 > sınıf 100000.
100. sınıf temiz oda standardı esas olarak ameliyathaneleri ve ilaç endüstrisindeki aseptik üretim alanlarını kapsamaktadır.
Temizlik partikül boyutu 0,1 mikron veya daha büyük olan partiküllerin azami sayısı 100'ü geçemez.
Basınç farkı, sıcaklık ve nem: Sıcaklık 22℃±2; nem %55±5; temelde, tamamen ısıtmalı ve yükseltilmiş zeminlerle kaplanması gerekiyor. MAU+FFU+DC sistemi oluşturulmalı. Ayrıca pozitif basınç korunmalı ve bitişik odaların basınç gradyanının yaklaşık 10 pa civarında olması sağlanmalıdır.
Aydınlatma Tozsuz temiz odalardaki çalışma alanlarının çoğunun ince gereksinimleri olması ve bunların tamamen kapalı odalar olması nedeniyle, aydınlatma konusunda her zaman yüksek gereksinimler olmuştur. Yerel aydınlatma: Bu, belirlenmiş bir yerin aydınlatmasını artırmak için kurulan aydınlatma düzenini ifade eder. Ancak, yerel aydınlatma genellikle iç mekan aydınlatmasında tek başına kullanılmaz. Karma aydınlatma: Bu, çalışma yüzeyindeki aydınlatmanın bir aydınlatma türü ve yerel aydınlatma ile sentezlenmesini ifade eder; genel aydınlatmanın toplam aydınlatmanın %10-15'ini oluşturması gerekir.
1000 sınıfı temiz oda standardı, metreküp başına 0,5 mikrondan küçük partikül boyutuna sahip toz partiküllerinin sayısını 3.500'ün altına düşürmeyi ve böylece uluslararası tozsuzluk standardı A seviyesine ulaşmayı hedefler. Çip seviyesinde üretim ve işlemede şu anda kullanılan tozsuzluk standardı, A sınıfından daha yüksek toz gereksinimlerine sahiptir. Bu yüksek standartlar, esas olarak bazı üst düzey çiplerin üretiminde kullanılır. Toz partiküllerinin sayısı metreküp başına 1.000'in altında sıkı bir şekilde kontrol edilir ve bu, temiz oda endüstrisinde yaygın olarak 1000 sınıfı olarak bilinir.
Tozsuz ve temiz atölyelerin çoğunda, dış kirliliğin içeri girmesini önlemek için iç basıncın (statik basınç) dış basınca (statik basınç) göre daha yüksek tutulması gerekir. Basınç farkının korunması genellikle aşağıdaki prensiplere uygun olmalıdır: temiz alanın basıncı, temiz olmayan alanın basıncından daha yüksek olmalıdır; yüksek temizlik seviyesine sahip alanın basıncı, bitişik düşük temizlik seviyesine sahip alanın basıncından daha yüksek olmalıdır; bağlantılı temiz odalar arasındaki kapılar, yüksek temizlik seviyesine sahip odalara doğru açılmalıdır. Basınç farkının korunması, bu basınç farkı altında boşluklardan sızan hava miktarını telafi edebilecek taze hava miktarına bağlıdır. Bu nedenle, basınç farkının fiziksel anlamı, temiz odadaki çeşitli boşluklardan geçerken sızan (veya içeri sızan) hava hacminin direncidir.
10000 sınıfı temiz oda, 0,5 µm'den büyük veya eşit toz parçacıklarının sayısının 35.000 parçacık/m³'ten (35 parçacık/m³) büyük veya eşit ile 35.000 parçacık/m³'ten (350 parçacık/m³) küçük veya eşit arasında ve 5 µm'den büyük veya eşit toz parçacıklarının sayısının 300 parçacık/m³'ten (0,3 parçacık/m³) büyük veya eşit ile 3.000 parçacık/m³'ten (3 parçacık/m³) küçük veya eşit arasında olduğu anlamına gelir. Basınç farkı, sıcaklık ve nem kontrolü de dikkate alınır.
Sıcaklık ve nem kuru serpantin sistemi kontrolü. Klima ünitesi, algılanan sinyal aracılığıyla üç yollu vananın açılmasını kontrol ederek klima ünitesi serpantininin su girişini ayarlar.
100.000 sınıfı temiz oda, çalışma atölyesindeki metreküp başına düşen partikül sayısının 100.000'in altında kontrol edildiği anlamına gelir. Temiz oda üretim atölyeleri ağırlıklı olarak elektronik ve ilaç endüstrilerinde kullanılmaktadır. Gıda endüstrisi için de 100.000 sınıfı bir üretim atölyesine sahip olmak oldukça iyidir. 100.000 sınıfı temiz oda, saatte 15-19 hava değişimi gerektirir. Tam havalandırmadan sonra, hava temizleme süresi 40 dakikayı geçmemelidir.
Aynı temizlik seviyesine sahip temiz odalar arasındaki basınç farkı sabit tutulmalıdır. Farklı temizlik seviyelerine sahip bitişik temiz odalar arasındaki basınç farkı 5 Pa olmalı ve temiz odalar ile temiz olmayan odalar arasındaki basınç farkı >10 Pa olmalıdır.
100.000 sınıfı temiz odalarda sıcaklık ve nem için özel bir gereksinim yoksa, rahatsızlık hissetmeden temiz iş kıyafetleri giyilmesi tavsiye edilir. Sıcaklık genellikle kışın 20~22℃, yazın ise 24~26℃ arasında, ±2C'lik bir dalgalanma ile kontrol edilir. Temiz odaların nem oranı kışın %30-50, yazın ise %50-70 arasında kontrol edilir. Temiz odaların (alanların) ana üretim odalarının aydınlatma değeri genellikle >300 Lx olmalıdır; yardımcı stüdyoların, personel ve malzeme arıtma odalarının, hava odalarının, koridorların vb. aydınlatma değeri ise 200~300 Lx olmalıdır.
Yayın tarihi: 14 Nisan 2025