Özellikle sisli havaların artmasıyla birlikte çevrenin korunmasına giderek daha fazla önem veriliyor. Temiz oda mühendisliği çevre koruma önlemlerinden biridir. Çevre korumada iyi bir iş çıkarmak için temiz oda mühendisliği nasıl kullanılır? Temiz oda mühendisliğindeki kontrolden bahsedelim.
Temiz odada sıcaklık ve nem kontrolü
Temiz alanların sıcaklığı ve nemi esas olarak proses gereksinimlerine göre belirlenir ancak proses gereksinimleri karşılanırken insan konforunun da dikkate alınması gerekir. Hava temizliği gerekliliklerinin iyileştirilmesiyle birlikte, prosesteki sıcaklık ve nem için daha katı gerekliliklere yönelik bir eğilim ortaya çıkıyor.
Genel prensip olarak, işleme hassasiyetinin artması nedeniyle sıcaklık dalgalanma aralığına yönelik gereksinimler giderek küçülmektedir. Örneğin, büyük ölçekli entegre devre üretiminin litografi ve pozlama sürecinde, maske malzemesi olarak kullanılan cam ve silikon levhalar arasındaki termal genleşme katsayısı farkı giderek küçülüyor.
Çapı 100 μm olan bir silikon levha, sıcaklık 1 derece arttığında 0,24 μm'lik doğrusal genleşmeye neden olur. Bu nedenle ± 0,1 OC sabit sıcaklık gereklidir ve nem değeri genellikle düşüktür çünkü terlemeden sonra ürün kirlenecektir, özellikle sodyumdan korkan yarı iletken atölyelerde. Bu tür atölyelerde sıcaklık 25°C'yi geçmemelidir.
Aşırı nem daha fazla soruna neden olur. Bağıl nem %55'i aştığında soğutma suyu borusu duvarında yoğuşma oluşacaktır. Hassas cihazlarda veya devrelerde meydana gelmesi durumunda çeşitli kazalara neden olabilir. Bağıl nem %50 olduğunda paslanması kolaydır. Ek olarak, nem çok yüksek olduğunda, silikon levhanın yüzeyine yapışan toz, havadaki su molekülleri yoluyla yüzeye kimyasal olarak adsorbe edilecek ve bunun giderilmesi zor olacaktır.
Bağıl nem ne kadar yüksek olursa, yapışmanın giderilmesi o kadar zor olur. Bununla birlikte, bağıl nem %30'un altında olduğunda, elektrostatik kuvvetin etkisi nedeniyle parçacıklar da yüzeye kolayca adsorbe edilir ve çok sayıda yarı iletken cihaz bozulmaya yatkındır. Silikon levha üretimi için en uygun sıcaklık aralığı %35-45'tir.
Hava basıncıkontroltemiz odada
Çoğu temiz alan için, dış kirliliğin istilasını önlemek amacıyla, iç basıncın (statik basınç) dış basınçtan (statik basınç) daha yüksek tutulması gerekir. Basınç farkının bakımı genel olarak aşağıdaki prensiplere uygun olmalıdır:
1. Temiz alanlardaki basınç, temiz olmayan alanlara göre daha yüksek olmalıdır.
2. Yüksek temizlik seviyesine sahip mahallerdeki basınç, düşük temizlik seviyesine sahip bitişik mahallerdeki basınçtan daha yüksek olmalıdır.
3. Temiz odalar arasındaki kapılar, temizlik düzeyi yüksek odalara doğru açılmalıdır.
Basınç farkının korunması, bu basınç farkı altında boşluktan sızan havayı telafi edebilmesi gereken taze hava miktarına bağlıdır. Dolayısıyla basınç farkının fiziksel anlamı, temiz odadaki çeşitli boşluklardan geçen hava akışının (veya sızmanın) direncidir.
Gönderim zamanı: Temmuz-21-2023