Özellikle puslu hava koşullarının artmasıyla birlikte çevre korumaya giderek daha fazla önem veriliyor. Temiz oda mühendisliği, çevre koruma önlemlerinden biridir. Çevre korumada başarılı olmak için temiz oda mühendisliği nasıl kullanılır? Temiz oda mühendisliğindeki kontrol hakkında konuşalım.
Temiz odada sıcaklık ve nem kontrolü
Temiz alanların sıcaklık ve nem değerleri esas olarak proses gerekliliklerine göre belirlenir, ancak proses gereklilikleri karşılanırken insan konforu da göz önünde bulundurulmalıdır. Hava temizliği gerekliliklerinin iyileştirilmesiyle birlikte, proseslerde sıcaklık ve nem gerekliliklerinin daha sıkı hale getirilmesi eğilimi görülmektedir.
Genel bir ilke olarak, işleme hassasiyetinin artması nedeniyle sıcaklık dalgalanma aralığı gereksinimleri giderek azalmaktadır. Örneğin, büyük ölçekli entegre devre üretiminin litografi ve pozlama sürecinde, maske malzemesi olarak kullanılan cam ve silikon gofretler arasındaki termal genleşme katsayısı farkı giderek azalmaktadır.
Çapı 100 μ m olan bir silikon gofret, sıcaklık 1 derece arttığında 0,24 μ m'lik doğrusal bir genleşmeye neden olur. Bu nedenle, ± 0,1 ℃ sabit bir sıcaklık gereklidir ve nem değeri genellikle düşüktür, çünkü terlemeden sonra ürün, özellikle sodyumdan korkan yarı iletken atölyelerinde kirlenir. Bu tür atölyelerde sıcaklık 25℃'yi geçmemelidir.
Aşırı nem daha fazla soruna yol açar. Bağıl nem %55'i aştığında, soğutma suyu boru cidarında yoğuşma oluşur. Hassas cihazlarda veya devrelerde meydana gelirse çeşitli kazalara neden olabilir. Bağıl nem %50 olduğunda ise paslanma kolaydır. Ayrıca, nem çok yüksek olduğunda, silikon gofretin yüzeyine yapışan toz, havadaki su molekülleri aracılığıyla kimyasal olarak yüzeye tutunur ve bu da temizlenmesini zorlaştırır.
Bağıl nem ne kadar yüksekse, yapışmayı gidermek o kadar zor olur. Ancak bağıl nem %30'un altında olduğunda, elektrostatik kuvvetin etkisiyle parçacıklar yüzeye kolayca tutunur ve çok sayıda yarı iletken cihaz bozulmaya eğilimlidir. Silikon yonga üretimi için optimum sıcaklık aralığı %35-45'tir.
Hava basıncıkontroltemiz odada
Çoğu temiz alanda, dışarıdan gelen kirliliğin içeri girmesini önlemek için iç basıncın (statik basınç) dış basınçtan (statik basınç) daha yüksek tutulması gerekir. Basınç farkının korunması genellikle aşağıdaki ilkelere uygun olmalıdır:
1. Temiz alanlardaki basınç, temiz olmayan alanlara göre daha yüksek olmalıdır.
2. Temizlik seviyesi yüksek olan mekanlardaki basınç, temizlik seviyesi düşük olan bitişik mekanlardaki basınçtan daha yüksek olmalıdır.
3. Temiz odalar arasındaki kapılar, temizlik seviyesi yüksek odalara doğru açılmalıdır.
Basınç farkının korunması, bu basınç farkı altındaki boşluktan hava sızıntısını telafi edebilecek temiz hava miktarına bağlıdır. Dolayısıyla, basınç farkının fiziksel anlamı, temiz odadaki çeşitli boşluklardan sızan (veya sızma) hava akışının direncidir.
Gönderi zamanı: 21 Temmuz 2023