Çevre koruması, özellikle pus havasının artmasıyla birlikte daha fazla dikkat edilir. Temiz oda mühendisliği çevre koruma önlemlerinden biridir. Çevre korumasında iyi bir iş yapmak için temiz oda mühendisliği nasıl kullanılır? Temiz oda mühendisliğindeki kontrol hakkında konuşalım.
Temiz odada sıcaklık ve nem kontrolü
Temiz alanların sıcaklığı ve nemi esas olarak süreç gereksinimlerine göre belirlenir, ancak süreç gereksinimlerini karşıladığında insan konforu dikkate alınmalıdır. Hava temizliği gereksinimlerinin iyileştirilmesiyle, süreçte sıcaklık ve nem için daha katı gereksinimler eğilimi vardır.
Genel bir prensip olarak, artan işlem hassasiyeti nedeniyle, sıcaklık dalgalanma aralığı için gereksinimler küçülüyor ve küçülüyor. Örneğin, büyük ölçekli entegre devre üretiminin litografisi ve maruz kalma işleminde, maske malzemeleri olarak kullanılan cam ve silikon gofretler arasındaki termal genleşme katsayısındaki fark giderek daha küçük hale gelmektedir.
100 μm çapında bir silikon gofret, sıcaklık 1 derece arttığında 0.24 μ m'lik doğrusal bir genişlemeye neden olur. Bu nedenle, ± 0.1 ℃ sabit bir sıcaklık gereklidir ve nem değeri genellikle düşüktür, çünkü terlemeden sonra ürün, özellikle sodyumdan korkan yarı iletken atölyelerde kirlenecektir. Bu tür atölye 25 ℃ 'yi geçmemelidir.
Aşırı nem daha fazla soruna neden olur. Bağıl nem%55'i aştığında, soğutma su borusu duvarında yoğuşma oluşacaktır. Hassas cihazlarda veya devrelerde meydana gelirse, çeşitli kazalara neden olabilir. Bağıl nem%50 olduğunda, paslanması kolaydır. Ek olarak, nem çok yüksek olduğunda, silikon gofretin yüzeyine yapışan toz, havadaki su molekülleri yoluyla yüzeyde kimyasal olarak adsorbe edilecek, bu da çıkarılması zor.
Bağıl nem ne kadar yüksek olursa, yapışmayı gidermek o kadar zor olur. Bununla birlikte, bağıl nem%30'un altında olduğunda, partiküller de elektrostatik kuvvetin etkisi nedeniyle yüzeye kolayca adsorbe edilir ve çok sayıda yarı iletken cihaz bozulmaya eğilimlidir. Silikon gofret üretimi için optimal sıcaklık aralığı%35-45'tir.
Hava basıncıkontroltemiz odada
Çoğu temiz alan için, dış kirliliğin istilası olmasını önlemek için, dış basınçtan (statik basınç) daha yüksek iç basıncı (statik basınç) korumak gerekir. Basınç farkının korunması genellikle aşağıdaki ilkelere uymalıdır:
1. Temiz boşluklardaki basınç, temiz olmayan boşluklardan daha yüksek olmalıdır.
2. Yüksek temizlik seviyelerine sahip boşluklardaki basınç, düşük temizlik seviyelerine sahip bitişik alanlarda olduğundan daha yüksek olmalıdır.
3. Temiz odalar arasındaki kapılar yüksek temizlik seviyelerine sahip odalara açılmalıdır.
Basınç farkının korunması, bu basınç farkı altındaki boşluktan hava sızıntısını telafi edebilmesi gereken temiz hava miktarına bağlıdır. Dolayısıyla, basınç farkının fiziksel anlamı, temiz odadaki çeşitli boşluklardan sızıntı (veya infiltrasyon) hava akışının direncidir.
Gönderme Zamanı: Tem-21-2023