Temiz odalar, tozsuz odalar olarak da adlandırılır. Belirli bir alandaki havadaki toz parçacıkları, zararlı hava ve bakteriler gibi kirleticileri tahliye etmek ve iç mekan sıcaklığını, temizliğini, iç mekan basıncını, hava akış hızını ve hava akış dağılımını, gürültüyü, titreşimi, aydınlatmayı ve statik elektriği belirli bir aralıkta kontrol etmek için kullanılırlar. Aşağıda, temiz oda arıtma önlemlerinde temizlik gerekliliklerini karşılamak için gerekli dört koşul temel olarak açıklanmaktadır.
1. Hava besleme temizliği
Hava beslemesinin temizliğinin gereklilikleri karşıladığından emin olmak için en önemli nokta, arıtma sisteminin son filtresinin performansı ve kurulumudur. Temiz oda sisteminin son filtresinde genellikle bir HEPA filtre veya bir alt HEPA filtre kullanılır. Ulusal standartlara göre, HEPA filtrelerinin verimliliği dört sınıfa ayrılır: A Sınıfı ≥%99,9, B Sınıfı ≥%99,99, C Sınıfı ≥%99,999, D Sınıfı (≥0,1 μm partiküller için) ≥%99,999 (ultra HEPA filtreler olarak da bilinir); alt HEPA filtreler (≥0,5 μm partiküller için) %95-99,9'dur.
2. Hava akışı organizasyonu
Temiz bir odanın hava akışı organizasyonu, genel klimalı bir odadan farklıdır. En temiz havanın önce çalışma alanına iletilmesini gerektirir. İşlevi, işlenmiş nesnelerin kirlenmesini sınırlamak ve azaltmaktır. Farklı hava akışı organizasyonlarının kendine özgü özellikleri ve kapsamları vardır: Dikey tek yönlü akış: Her ikisi de düzgün aşağı doğru hava akışı sağlayabilir, proses ekipmanlarının yerleşimini kolaylaştırabilir, güçlü bir kendi kendini temizleme yeteneğine sahiptir ve kişisel temiz oda tesisleri gibi yaygın tesisleri basitleştirebilir. Dört hava besleme yönteminin de kendi avantajları ve dezavantajları vardır: tamamen kapalı hepa filtreleri düşük direnç ve uzun filtre değiştirme döngüsü avantajlarına sahiptir, ancak tavan yapısı karmaşıktır ve maliyeti yüksektir; yan kapalı hepa filtre üstten çıkışının ve tam delikli plaka üstten çıkışının avantajları ve dezavantajları, tamamen kapalı hepa filtre üstten çıkışının avantajları ve dezavantajlarının tersidir. Bunlar arasında, tam delikli plaka üstten çıkışı, sistem sürekli çalışmadığında orifis plakasının iç yüzeyinde toz birikmesine eğilimlidir ve yetersiz bakım temizlik üzerinde bir miktar etkiye sahip olacaktır; Yoğun difüzör üstten besleme, karıştırma katmanı gerektirdiğinden, yalnızca 4 metreden uzun temiz odalar için uygundur ve özellikleri tam delikli plaka üstten beslemeye benzerdir; her iki tarafında ızgaralar bulunan plakalar ve her iki tarafta duvarların alt kısmında eşit şekilde düzenlenmiş dönüş havası çıkışları için dönüş havası yöntemi, yalnızca her iki tarafta net aralığı 6 metreden az olan temiz odalar için uygundur; tek taraflı duvarın alt kısmındaki dönüş havası çıkışları, yalnızca duvarlar arasında küçük bir aralık bulunan temiz odalar için uygundur (örneğin ≤2~3 m). Yatay tek yönlü akış: yalnızca ilk çalışma alanı 100 seviyesinde temizliğe ulaşır. Hava diğer tarafa aktığında, toz konsantrasyonu kademeli olarak artar. Bu nedenle, yalnızca aynı işlem için farklı temizlik gereksinimleri olan temiz odalar için uygundur. Hava besleme duvarına HEPA filtrelerinin yerel olarak dağıtılması, HEPA filtrelerinin kullanımını azaltabilir ve ilk yatırımdan tasarruf sağlayabilir, ancak yerel alanlarda girdaplar vardır. Türbülanslı hava akışı: Orifis plakalarının üstten dağıtımının ve yoğun difüzörlerin üstten dağıtımının özellikleri yukarıda belirtilenlerle aynıdır. Yan dağıtımın avantajları kolay boru hattı yerleşimi, teknik ara katman olmaması, düşük maliyet ve eski fabrikaların yenilenmesine elverişli olmasıdır. Dezavantajları ise çalışma alanındaki rüzgar hızının büyük olması ve rüzgar altı tarafındaki toz konsantrasyonunun rüzgar üstü tarafındakinden daha yüksek olmasıdır. Hepa filtre çıkışlarının üstten dağıtımı basit bir sistem, hepa filtrenin arkasında boru hattı olmaması ve temiz hava akışının doğrudan çalışma alanına iletilmesi avantajlarına sahiptir, ancak temiz hava akışı yavaşça yayılır ve çalışma alanındaki hava akışı daha homojendir. Ancak, birden fazla hava çıkışı eşit şekilde düzenlendiğinde veya difüzörlü hepa filtre çıkışları kullanıldığında, çalışma alanındaki hava akışı da daha homojen hale getirilebilir. Ancak, sistem sürekli çalışmadığında, difüzör toz birikimine eğilimlidir.
3. Hava besleme hacmi veya hava hızı
Yeterli havalandırma hacmi, iç mekandaki kirli havayı seyreltmek ve uzaklaştırmak içindir. Farklı temizlik gereksinimlerine göre, temiz odanın net yüksekliği yüksek olduğunda, havalandırma sıklığı uygun şekilde artırılmalıdır. Bunlar arasında, 1 milyonluk temiz odanın havalandırma hacmi yüksek verimli temiz oda sistemine göre, geri kalanı ise yüksek verimli temiz oda sistemine göre değerlendirilir; 100.000 sınıfı temiz odanın HEPA filtreleri makine dairesinde yoğunlaştırıldığında veya alt HEPA filtreleri sistemin sonunda kullanıldığında, havalandırma sıklığı uygun şekilde %10 ila %20 arasında artırılabilir.
4. Statik basınç farkı
Temiz odada belirli bir pozitif basıncın korunması, temiz odanın tasarlanan temizlik seviyesini korumak için en az kirli veya hiç kirli olmamasını sağlamanın temel koşullarından biridir. Negatif basınçlı bir temiz oda için bile, belirli bir pozitif basıncı korumak için temizlik seviyesi kendi seviyesinden daha düşük olmayan bitişik bir oda veya bölme bulunmalıdır. Böylece negatif basınçlı temiz odanın temizliği korunabilir. Temiz odanın pozitif basınç değeri, tüm kapı ve pencereler kapalıyken iç mekan statik basıncının dış mekan statik basıncından yüksek olduğu değeri ifade eder. Bu değer, arıtma sisteminin hava besleme hacminin, dönüş havası hacmi ve egzoz havası hacminden büyük olması yöntemiyle elde edilir. Temiz odanın pozitif basınç değerini sağlamak için, hava besleme, dönüş havası ve egzoz fanlarını birbirine bağlamak en iyisidir. Sistem açıldığında, önce besleme fanı, ardından dönüş fanı ve egzoz fanı çalıştırılır; sistem kapatıldığında, önce egzoz fanı, ardından dönüş fanı ve besleme fanı kapatılır. Böylece sistem açılıp kapatıldığında temiz odanın kirlenmesi önlenir. Temiz odanın pozitif basıncını korumak için gereken hava hacmi, esas olarak bakım yapısının sıkılığı tarafından belirlenir. Çin'de temiz oda inşaatının erken aşamasında, muhafaza yapısının zayıf sıkılığı nedeniyle, ≥5Pa'lık pozitif basıncı korumak için saatte 2~6 kez hava beslemesi gerekiyordu; şu anda bakım yapısının sıkılığı büyük ölçüde iyileştirildi ve aynı pozitif basıncı korumak için saatte yalnızca 1~2 kez hava beslemesi gerekiyor; ≥10Pa'yı korumak için saatte yalnızca 2~3 kez hava beslemesi gerekiyor. Ulusal tasarım özellikleri, farklı seviyelerdeki temiz odalar ile temiz alanlar ve temiz olmayan alanlar arasındaki statik basınç farkının 0,5 mmH2O'dan (~5 Pa) az olmamasını ve temiz alan ile dış mekan arasındaki statik basınç farkının 1,0 mmH2O'dan (~10 Pa) az olmamasını şart koşar.
Gönderi zamanı: 03-03-2025