Chip imalat endüstrisindeki çip verimi, çip üzerinde biriken hava parçacıklarının boyutu ve sayısı ile yakından ilişkilidir. İyi hava akışı organizasyonu, toz kaynaklarından üretilen parçacıkları temiz odadan uzaklaştırabilir ve temiz odanın temizliğini sağlayabilir. Yani, temiz odadaki hava akışı organizasyonu, çip üretiminin veriminde hayati bir rol oynamaktadır. Temiz oda hava akışı organizasyonunun tasarımında elde edilecek hedefler şunlardır: zararlı parçacıkların tutulmasını önlemek için akış alanındaki girdap akımlarını azaltmak veya ortadan kaldırmak; çapraz kontaminasyonu önlemek için uygun bir pozitif basınç gradyanı korumak.
Temiz oda prensibine göre, parçacıklara etki eden kuvvetler kütle kuvveti, moleküler kuvvet, parçacıklar arasındaki cazibe, hava akışı kuvveti vb.
Hava Akışı Kuvvetleri: Besleme ve dönüş hava akışı, termal konveksiyon hava akışı, yapay ajitasyon ve parçacıkları taşımak için belirli bir akış hızına sahip diğer hava akışlarının neden olduğu hava akışının kuvvetini ifade eder. Temiz oda çevre teknolojisi kontrolü için hava akış kuvveti en önemli faktördür.
Deneyler, hava akışı hareketinde, parçacıkların hava akışını neredeyse aynı hızda takip ettiğini göstermiştir. Havadaki parçacıkların durumu hava akışı dağılımı ile belirlenir. Hava akışının iç mekan partikülleri üzerindeki ana etkileri şunlardır: hava besleme hava akışı (birincil hava akışı ve ikincil hava akışı dahil), yürüme insanların neden olduğu hava akışı ve termal konveksiyon hava akışı ve hava akışının işlem operasyonları ve endüstriyel ekipmanların neden olduğu parçacıklar üzerindeki etkisi. Temizlik odalarında farklı hava besleme yöntemleri, hız arayüzleri, operatörler ve endüstriyel ekipmanlar, indüklenen fenomenler vb. Temizlik seviyesini etkileyen faktörlerdir.
1. Hava besleme yönteminin etkisi
(1) Hava besleme hızı
Düzgün hava akışını sağlamak için, tek yönlü akış temiz odasındaki hava besleme hızı düzgün olmalıdır; Hava besleme yüzeyindeki ölü bölge küçük olmalıdır; Ve HEPA filtresi içindeki basınç düşüşü de eşit olmalıdır.
Hava besleme hızı eşittir: yani hava akışının eşitsizliği ±%20 içinde kontrol edilir.
Hava besleme yüzeyinde daha az ölü boşluk vardır: sadece HEPA çerçevesinin düzlem alanı azaltılmalı, daha da önemlisi, gereksiz çerçeveyi basitleştirmek için modüler FFU kullanılmalıdır.
Hava akışının dikey ve tek yönlü olduğundan emin olmak için, filtrenin basınç düşüşü seçimi de çok önemlidir ve filtre içindeki basınç kaybının önyargılı olamaması gerekir.
(2) FFU sistemi ile eksenel akış fan sistemi arasındaki karşılaştırma
FFU, fan ve HEPA filtresine sahip bir hava tedarik ünitesidir. Hava, FFU'nun santrifüj fanı tarafından emilir ve dinamik basıncı hava kanalında statik basınca dönüştürür. Hepa filtresi ile eşit olarak üflenir. Tavan üzerindeki hava besleme basıncı negatif basınçtır. Bu şekilde filtreyi değiştirirken hiçbir toz temiz odaya sızmayacaktır. Deneyler, FFU sisteminin hava çıkışı homojenliği, hava akışı paralelliği ve ventilasyon verimliliği indeksi açısından eksenel akış fan sisteminden daha üstün olduğunu göstermiştir. Bunun nedeni, FFU sisteminin hava akışı paralelliğinin daha iyi olmasıdır. FFU sisteminin kullanımı, temiz odada hava akışı organizasyonunu geliştirebilir.
(3) FFU'nun kendi yapısının etkisi
FFU esas olarak fanlar, filtreler, hava akışı kılavuzlarından ve diğer bileşenlerden oluşur. HEPA filtresi, tasarımın gerektirdiği temizliği elde etmek için temiz oda için en önemli garantidir. Filtrenin malzemesi de akış alanının homojenliğini etkileyecektir. Filtre çıkışına kaba bir filtre malzemesi veya bir akış plakası eklendiğinde, çıkış akış alanı kolayca üniforma yapılabilir.
2. Farklı temizlik ile hız arayüzünün etkisi
Aynı temiz odada, çalışma alanı ile dikey tek yönlü akışa sahip çalışma alanı olmayan alan arasında, HEPA kutusundaki hava hızındaki farktan dolayı, arayüzde karışık bir girdap etkisi meydana gelecektir ve bu arayüz hava akışı bölgesi. Hava türbülansının yoğunluğu özellikle güçlüdür ve parçacıklar ekipman makinesinin yüzeyine bulaşabilir ve ekipman ve gofretleri kirletebilir.
3. Personel ve ekipman üzerindeki etki
Temiz oda boş olduğunda, odadaki hava akışı özellikleri genellikle tasarım gereksinimlerini karşılar. Ekipman temiz odaya girdiğinde, insanlar hareket ettikten ve ürünler taşındığında, hava akışı organizasyonuna kaçınılmaz olarak ekipman makinesinden çıkıntı yapan keskin noktalar gibi engeller vardır. Köşelerde veya kenarlarda, gaz çalkantılı bir akış alanı oluşturmak için yönlendirilecek ve bölgedeki sıvı gelen gaz tarafından kolayca taşınmayacak ve böylece kirliliğe neden olmayacaktır.
Aynı zamanda, mekanik ekipmanın yüzeyi sürekli çalışma nedeniyle ısıtılacaktır ve sıcaklık gradyanı, makinenin yakınında bir yeniden akış alanına neden olacak ve bu da geri dönme alanındaki parçacıkların birikmesini arttıracaktır. Aynı zamanda, yüksek sıcaklık partiküllerin kaçmasına kolayca neden olur. Çift etki, genel dikey tabakayı yoğunlaştırır. Akarsu temizliğini kontrol etmenin zorluğu. Temiz odadaki operatörlerden gelen toz, bu geri dönme alanlarındaki gofretlere kolayca yapışabilir.
4. Dönüş hava tabanının etkisi
Zeminden geçen dönüş havasının direnci farklı olduğunda, basınç farkı meydana gelir, bu da havanın küçük direnç yönünde akmasına neden olur ve düzgün hava akışı elde edilmeyecektir. Mevcut popüler tasarım yöntemi, yükseltilmiş bir zemin kullanmaktır. Yüksek zeminin açılış oranı%10 olduğunda, hava akış hızı iç mekan çalışma yüksekliğinde eşit olarak dağıtılabilir. Buna ek olarak, yerdeki kirlilik kaynağını azaltmak için temizlik çalışmalarına sıkı dikkat edilmelidir.
5. İndüksiyon fenomeni
İndüksiyon fenomeni, homojen akışın tersi yönünde hava akışı üretme olgusunu ifade eder, oda veya tozda üretilen tozu indükler, rüzgar tarafına kadar, bu nedenle tozun gofretin kirlenmesine neden olur. Olası uyarılmış fenomenler aşağıdakileri içerir:
(1) Kör plaka
Dikey tek yönlü akışlı temiz bir odada, duvardaki eklemler nedeniyle, genellikle türbülanslı akış ve lokal geri akış üretecek büyük kör paneller vardır.
(2) lambalar
Temiz odadaki aydınlatma armatürleri daha büyük bir etkiye sahip olacaktır. Floresan lambanın ısısı hava akışının yükselmesine neden olduğundan, floresan lamba çalkantılı bir alan haline gelmeyecektir. Genel olarak, temiz odadaki lambalar, lambaların hava akışı organizasyonu üzerindeki etkisini azaltmak için gözyaşı şeklinde tasarlanmıştır.
(3) Duvarlar arasındaki boşluklar
Bölme duvarları veya farklı temizlik gereksinimlerine sahip tavanlar arasında boşluklar olduğunda, düşük temizlik gereksinimlerine sahip alanlardan gelen toz, yüksek temizlik gereksinimlerine sahip bitişik alanlara aktarılabilir.
(4) Mekanik ekipman ile zemin veya duvar arasındaki mesafe
Mekanik ekipman ile zemin veya duvar arasındaki boşluk küçükse, ribaund türbülans oluşacaktır. Bu nedenle, ekipman ve duvar arasında bir boşluk bırakın ve zeminle doğrudan temastan kaçınmak için makine platformunu yükseltin.
Gönderme Zamanı: Kasım-02-2023